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減薄機(jī)
單面拋光機(jī)
雙面拋光機(jī)
貼片機(jī)
刷洗機(jī)
玻璃基板CMP
TPP-1310

人工將載板放到上下料工作臺(tái)上，通過上下料工作臺(tái)將載板放到上拋光盤上，然后進(jìn)行自動(dòng)拋光，機(jī)臺(tái)配置摩擦力終點(diǎn)檢測，可自動(dòng)拋光至目標(biāo)值才停止。

  • 晶圓尺寸

    515*510mm / 600*600mm

  • 拋光頭數(shù)量

    1 個(gè)

  • 拋光頭直徑

    OD930 mm

  • 拋光盤直徑

    OD1300 mm

    • Features
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    終點(diǎn)檢測
    配備先進(jìn)的高精度EPD監(jiān)測功能
    分區(qū)加壓
    優(yōu)化壓力分布，確保拋光均勻性
    兼容性好
    設(shè)備可兼容不同尺寸的基板
    半自動(dòng)上下料
    獨(dú)創(chuàng)輕接觸上下料系統(tǒng)，避免損傷
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