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金剛石拋光機(jī)
TGP-1040/1540 series
該設(shè)備是專門(mén)針對(duì)金剛石材料開(kāi)發(fā)的拋光設(shè)備,具備單軸多工位,拋光盤(pán)具備高轉(zhuǎn)速、擺動(dòng)運(yùn)行等特點(diǎn),真空吸附&夾具雙重固定金剛石襯底,滿足金剛石材料的高速拋光需求。
  • 拋光盤(pán)規(guī)格

    OD400 mm

  • 拋光頭數(shù)量

    4個(gè)

  • 拋光頭尺寸

    2-4英寸

  • 拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速

    0-1500 RPM

  • Features
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    超高轉(zhuǎn)速
    拋光盤(pán)超高轉(zhuǎn)速拋光
    加壓方式
    氣缸加壓 壓力控制精準(zhǔn)
    驅(qū)動(dòng)形式
    拋光頭主動(dòng)旋轉(zhuǎn) 拋光盤(pán)擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)
    恒溫控制
    拋光盤(pán)/拋光頭溫度控制系統(tǒng)
    兼容性好
    最大可加工6英寸晶圓
    產(chǎn)品咨詢
    以客戶服務(wù)為中心,您的需求就是我們服務(wù)的方向,期待與您建立聯(lián)系!