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全自動晶圓刷洗機

TSC-150C/200C/200L

該系列設(shè)備是晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，集成全自動上下料系統(tǒng)、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進干出，適用于各種半導(dǎo)體晶圓拋光后的清洗。

TSC-150C TSC-200C TSC-200L

清洗工位

皮帶傳送式6工位

晶圓尺寸

3-6英寸

刷洗工位*2

2個PVA刷，雙面刷洗

產(chǎn)品咨詢

Features

產(chǎn)品特點

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干

刷子類型

PVA 刷雙面刷洗

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

全自動系統(tǒng)

皮帶傳動 Cassette in/out 干進干出

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