全自動(dòng)減薄機(jī)
TFG-3250
該設(shè)備是適用于6/8英寸晶圓研削的3主軸4工位全自動(dòng)減薄機(jī)，搭配高精度主軸，配置機(jī)械手上下片，集成自動(dòng)對中、傳送定位、清洗干燥功能，實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出的全自動(dòng)運(yùn)行。設(shè)備具有自動(dòng)測厚、多段研削、超負(fù)載等待等功能，加工精度及效率高。
工作臺數(shù)量4 個(gè)
砂輪規(guī)格OD303 mm
最大晶圓尺寸8英寸
砂輪軸功率7.5 kw
