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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
全自動拋光機
TFP-2310
該設備配置3拋光工位，8拋光頭，加工效率高。具有拋光盤冷卻和溫度監控系統，保證拋光過程恒溫，通過卡塞和機械手實現全自動上下片，濕進濕出全自動加工模式。配合不同類型的拋光液，適用于各種半導體材料的拋光。
  • 拋光盤規格

    OD630 mm

  • 拋光主軸數量

    3個

  • 拋光頭數量

    4組8個

    • Features
    產品特點
    加壓方式
    氣囊加壓，比例閥精確控制壓力
    晶圓保濕
    入水卡塞盒，保濕晶圓，防止干燥留痕
    全自動系統
    濕進濕出全自動模式加工
    配置豐富
    4組8個拋光頭，3個拋光盤
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