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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
單面拋光機
TSP-610/810/910/1270/1500 series
該系列拋光機是以陶瓷盤為載具，通過貼蠟或無蠟吸附方式固定晶圓進行拋光的高精密單面拋光設備，可實現雙軸、四軸同時加工，操作簡便，兼容性強，穩定性高，抗腐蝕好，拋光頭氣缸加壓主動旋轉，可實現高轉速高壓力拋光，搭配不同拋光墊和拋光液，適用于各種半導體材料的拋光。
  • 拋光盤規格

    OD610 mm

  • 陶瓷盤規格

    OD240 mm

  • 拋光頭數量

    2個

    • Features
    產品特點
    加壓方式
    氣缸加壓 壓力控制精確
    驅動形式
    拋光頭主動驅動
    恒溫控制
    拋光盤溫度控制系統
    工藝優化
    可加工貼蠟工藝&無蠟工藝
    產能充足
    2/4軸同時加工
    清洗功能
    PAD刷洗
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