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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
單面拋光機
TSP-400/450 series
該系列拋光機是落地式高精度單面拋光設備，配置拋光盤冷卻和溫度監控系統，保證拋光過程恒溫，設備操作簡單、配置豐富，可搭配銅盤、錫盤、玻璃盤、不銹鋼盤等（可選配車刀系統），配合不同類型的拋光液，適用于各種半導體材料的拋光。
  • 拋光盤規格

    OD400 mm

  • 拋光頭數量

    2個

  • 拋光頭加壓方式

    砝碼或真空拋光壓頭

  • 拋光頭擺動功能

    具備

    • Features
    產品特點
    加壓方式
    真空壓頭/砝碼加壓
    驅動形式
    拋光壓頭自轉&擺動驅動系統
    恒溫控制
    拋光盤溫度控制系統
    工藝優化
    拋光壓頭面型可調整
    供液方式
    可調流量蠕動泵供液&真空噴射供液
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