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減薄機(jī)
單面拋光機(jī)
雙面拋光機(jī)
貼片機(jī)
刷洗機(jī)
單面拋光機(jī)
TAP-500/600 Dual series
該系列拋光機(jī)是雙拋光盤的高精密單面拋光設(shè)備，可實現(xiàn)四軸同時加工，設(shè)備可依據(jù)不同晶圓配置相應(yīng)拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉(zhuǎn)并兼具擺動，適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。
  • 晶圓尺寸

    6英寸

  • 拋光盤規(guī)格

    OD520 mm

  • 拋光盤數(shù)量

    2個

  • 拋光頭數(shù)量

    4個

    • Features
    產(chǎn)品特點
    兼容性好
    最大可加工8英寸晶圓
    加壓方式
    真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
    驅(qū)動形式
    可實現(xiàn)雙盤4拋光頭同時加工
    清洗功能
    浸沒超聲清洗 壓頭反吹水自清洗
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