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單面拋光機

TSP-380

該設備是桌面式的高精度單面拋光設備，設備占地小，操作簡單，可搭配銅盤、錫盤、玻璃盤、不銹鋼盤等，配合不同類型的拋光液，適用于各種半導體材料的拋光。

拋光盤規格

OD380 mm

拋光頭數量

2個

拋光頭加壓方式

砝碼或真空拋光壓頭

Features

產品特點

加壓方式

真空壓頭/砝碼加壓

驅動形式

拋光壓頭自轉&擺動驅動系統

工藝優化

拋光壓頭面型可調整

供液方式

可調流量蠕動泵供液&真空噴射供液

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